折疊潔凈室中的溫濕度控制

清潔空間的溫濕度重要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來判斷，但在滿意工藝請(qǐng)求的前提下，應(yīng)考慮到人的舒服度感。凈化空調(diào)一般凈化工藝流程中各部分相關(guān)知識(shí)凈化空調(diào)箱的一般結(jié)構(gòu)新風(fēng)、回風(fēng)段:新風(fēng)、回風(fēng)口位置按設(shè)計(jì)要求可分別在端部、頂部或左右。凈化空調(diào)廠家從側(cè)重于實(shí)際應(yīng)用的角度，介紹了氣流組織；凈化空調(diào)系統(tǒng)；空調(diào)凈化設(shè)備（包括：空氣過濾器、過濾器送風(fēng)口及風(fēng)機(jī)過濾器單元、潔凈工作臺(tái)、自凈器、凈化單元、裝配式潔凈空、空氣吹淋室、凈化空調(diào)機(jī)、空氣處理機(jī)組、凈化新風(fēng)機(jī)組等）；空氣處理過程；凈化空調(diào)工程的設(shè)計(jì)方法和設(shè)計(jì)計(jì)算；一般工業(yè)潔凈室、生物潔凈室和生物安全潔凈室凈化空調(diào)的特點(diǎn)、設(shè)計(jì)方法、施工要求及節(jié)能和運(yùn)行管理方面的內(nèi)容。 本書可作為高等院校相關(guān)專業(yè)的“凈化空調(diào)”或“空氣潔凈技術(shù)”課程的教材，亦可供空氣凈化（空氣潔凈）領(lǐng)域的暖通工程技術(shù)人員參考。隨著空氣清潔度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。凈化空調(diào)廠家從側(cè)重于實(shí)際應(yīng)用的角度，介紹了氣流組織；凈化空調(diào)系統(tǒng)；空調(diào)凈化設(shè)備（包括：空氣過濾器、過濾器送風(fēng)口及風(fēng)機(jī)過濾器單元、潔凈工作臺(tái)、自凈器、凈化單元、裝配式潔凈空、空氣吹淋室、凈化空調(diào)機(jī)、空氣處理機(jī)組、凈化新風(fēng)機(jī)組等）；空氣處理過程；凈化空調(diào)工程的設(shè)計(jì)方法和設(shè)計(jì)計(jì)算；一般工業(yè)潔凈室、生物潔凈室和生物安全潔凈室凈化空調(diào)的特點(diǎn)、設(shè)計(jì)方法、施工要求及節(jié)能和運(yùn)行管理方面的內(nèi)容。 本書可作為高等院校相關(guān)專業(yè)的“凈化空調(diào)”或“空氣潔凈技術(shù)”課程的教材，亦可供空氣凈化（空氣潔凈）領(lǐng)域的暖通工程技術(shù)人員參考。具體工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求當(dāng)前還要列舉，但作為總的準(zhǔn)則看，因?yàn)榧庸ぞ仍絹碓骄?，所以?duì)溫度穩(wěn)定范疇的請(qǐng)求越來越小。例如在大范圍集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度回升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值個(gè)別較低，因?yàn)槿顺龊巩?dāng)前，對(duì)產(chǎn)品將有沾染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。絕對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會(huì)引起各種事變。絕對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學(xué)吸附在名義難以清除。絕對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)絕對(duì)濕度低于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對(duì)硅片生產(chǎn)最佳濕度范疇為35-45%。